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MEMS烟雾气体传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体气敏材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为
